Ellipsomètre expérimental LCP-25
Caractéristiques
| Description | Caractéristiques |
| Plage de mesure d'épaisseur | 1 nm ~ 300 nm |
| Plage d'angles d'incidence | 30º ~ 90º , Erreur ≤ 0,1º |
| Angle d'intersection du polariseur et de l'analyseur | 0° ~ 180° |
| Échelle angulaire du disque | 2º par échelle |
| Lecture minimale du vernier | 0,05º |
| Hauteur du centre optique | 152 mm |
| Diamètre de la zone de travail | Φ 50 mm |
| Dimensions générales | 730 x 230 x 290 mm |
| Poids | Environ 20 kg |
Liste des pièces
| Description | Qté |
| Unité ellipsométrique | 1 |
| Laser He-Ne | 1 |
| Amplificateur photoélectrique | 1 |
| Cellule photoélectrique | 1 |
| Film de silice sur substrat de silicium | 1 |
| CD du logiciel d'analyse | 1 |
| Manuel d'instructions | 1 |
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